第15回集積化MEMS技術研究ワークショップ

第15回集積化MEMS技術研究ワークショップでポスター発表を行いました。

開催日：2024年7月30日
会場：名古屋大学

1. 1. 十亀龍星､Tan Wen En, 坂上天斗，崔　容俊，野田俊彦，澤田和明，高橋一浩，
      表面応力と共振質量計測機構を一体化した光干渉型マルチモーダルセンサの開発
      ポスター，第15回集積化MEMS技術研究ワークショップ，P13，2024.7.30，名古屋大学
   2. 加藤源基¹，Phan Viet Khoa¹，吉田　誉¹，坂井佐知子¹，今泉祐輝^２，合田達郎²，崔　容俊¹，野田俊彦¹，澤田和明¹，高橋一浩¹，1.豊橋技術科学大学，2.東洋大学
      化学吸着型グラフェン共振質量センサによるゼプトグラム感度の実現，
      ポスター，第15回集積化MEMS技術研究ワークショップ，P14，2024.7.30，名古屋大学