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第16回集積化MEMS技術ワークショップ

2025/7/31に横河電機株式会社（本社：東京都武蔵野市）で開催された、第16回集積化MEMS技術ワークショップで研究成果発表を行いました。

1. 四宮 昌幸，崔 容俊，權 益賢,木村 安行，髙橋 一浩，野田 俊彦，澤田 和明,
   フィルタフリー波長センサによる蛍光マイクロビーズの波長と光強度の識別,
   応用物理学会 集積化MEMS技術研究会 第16回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
   P11, ポスター，2025年7月31日, 横河電機,東京
2. 加藤 結衣，崔 容俊，權 益賢，木村 安行，高橋 一浩，野田 俊彦，澤田 和明,
   可視光領域の分光に向けたフィルタフリー波長センサの波長分離検証,
   応用物理学会 集積化MEMS技術研究会 第16回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
   P09, ポスター，2025年7月31日, 横河電機,東京
3. 押野 雅樹，崔 容俊，野田 俊彦，澤田 和明，高橋 一浩,
   アルデヒド機能化ポリピロールを利用した光干渉型ＭＥＭＳセンサアレイによる多項目マーカー検出技術の提案,
   応用物理学会 集積化MEMS技術研究会 第16回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
   P05, ポスター，2025年7月31日, 横河電機,東京
4. Pham Viet Khoa，吉田 誉，坂井 佐和子，秋田 一平，今泉 祐輝，合田 達郎，崔 容俊，野田 俊彦，澤田 和明，高橋 一浩,
   電流駆動によるマルチモーダルグラフェン共振センサ：周波数・インピーダンス同時計測,
   応用物理学会 集積化MEMS技術研究会 第16回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
   P03, ポスター，2025年7月31日, 横河電機,東京