2018/1/18
丸山智史先生の論文がSensorsに掲載されました。
Optical-Interferometry-Based CMOS-MEMS Sensor Transduced by Stress-Induced Nanomechanical Deflection,
Satoshi Maruyama, Takeshi Hizawa, Takahashi Kazuhiro and Kazuaki Sawada,
Sensors 2018, 18(1), 138; doi:10.3390/s18010138
