集積化バイオセンサシステムと次世代MEMS・センサ融合デバイスの実現を目指して

設備紹介

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豊橋技術科学大学には大学レベルでは数少ない2インチおよび4インチレベルでデバイスを設計,試作,評価できる固体機能デバイス施設を有していおり,その研究環境は非常に恵まれています. また,学生自らが装置の維持,管理をしており,必要に応じて装置の改良をしています.これらの体験を通して将来就職した場合,即戦力として働くことが期待できます.

エレクトロニクス先端融合研究所 バイオ実験室

安全キャビネット 化学処理用クリーンベンチ
ドラフター オートクレーブ
CO2インキュベータ インキュベータ
遠心分離機 実体顕微鏡
蛍光顕微鏡 共焦点レーザー顕微鏡(ニコン A1)
ディープフリーザー スピンコーター(MIKASA MS-A100)
超純水製造装置 超音波洗浄機
pHメーター PCR Thermal cycler(Takara)
マイクロプレートリーダー(i Mark) 蛍光マイクロプレートリーダー
(Thermo フルオロスキャンアセント)
ナノフォトメーター
(IMPLEN denville nanophotometer)
電気化学アナライザー(BAS ALS760EP)
FTIR(JASCO 620) 128/256センサ評価装置
微細センサ評価装置

エレクトロニクス先端融合研究所 サイト

C棟 C2-603

雰囲気制御可能温度可変プローバ
(真空、窒素、酸素)
プローバ用雰囲気制御システム
半導体パラメータアナライザ(Agilent B1500A) 光学顕微鏡
超純水製造装置 スポッティングシステム
(MUSASHI ENGINEERING SPOT MASTER)
グローブボックス

CL1

固体機能デバイス施設

超純水製造装置 化学処理用クリーンベンチ
N2ブローガン 回転式ウェハ乾燥機
4インチ対応酸化・アニール炉 4インチ対応リン拡散炉
イオン注入装置 Alスパッタ装置
金属膜(3元)スパッタ装置 Poly-Si用減圧CVD装置
TEOS-SiO2 & Si3N4用減圧CVD装置 BPSG用プラズマCVD装置
Si系Reactive Ion Etching(RIE)装置 Metal系RIE装置
O2アッシング装置 異方性ウェットエッチングシステム(TMAH)
電子線描画装置 g線ステッパ
i線ステッパ レジストコータ・ディベロッパ
スピンナー スプレーコータ
プロジェクションアライナ 両面アライナ
コンタクトアライナ(2インチ) コンタクトアライナ(4インチ)
金線ワイヤボンダー ダイボンダー
ダイシング装置 陽極接合装置
真空対応陽極接合装置 ウェハプローバシステム
温度可変プローバシステム Hgプローブシステム
半導体パラメータアナライザ LCRインピーダンスアナライザ
ウェハフラットネステスタ エリプソメータ
干渉式膜厚計 段差形状測定器
レーザー顕微鏡 走査電子顕微鏡(FE-SEM)
光学式顕微鏡 四探針抵抗測定器
マスク設計システム(Cadence) 回路シミュレータ(SPICE)
プロセスシミュレータ(SUPREM) 有限要素解析システム(ANSYS)
デバイスシミュレータ(SPECTRA) 3次元光学シミュレータ(TOCCATA)

固体機能デバイス研究施設 サイト

ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー

ICPエッチング装置 反応性イオンエッチング装置
XeF2-Siエッチング装置 3元スパッタ装置
プラズマCVD装置 4インチ水素アニール炉
4インチ汎用酸化/アニール炉 2インチ酸化炉

>>ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー サイト

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