ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー

ICPエッチング装置 反応性イオンエッチング装置
XeF2-Siエッチング装置 3元スパッタ装置
プラズマCVD装置 4インチ水素アニール炉
4インチ汎用酸化/アニール炉 2インチ酸化炉