半導体プロセス装置 (共用機器を含む)
EB蒸着器 
EB描画装置 
GaN系ICP-RIE 
LED転写装置 
LPCVD装置 
Si深堀エッチング装置 
XeF2ドライエッチング装置 
アッシング装置 
シンタ炉 
ダイシングソー 
パリレンコータ 
プラズマCVD装置 
レジストスプレーコータ 
ワイヤボンダ 
反応性イオンエッチング装置(F系ガス) 
両面アライナ 
インクジェット装置 
フリップチップボンダ 
ワイヤーボンダー 
評価装置
プローブ・ステーション 
角度分解PL,EL評価装置 
顕微フォトルミネッセンスシステム 
測長機能付き走査型多電子顕微鏡 
段差測定計 
電気計測器 
ソースメータ 
ソースメータ 
CCD分光器 
オシロスコープ 
倒立蛍光顕微鏡 
実体顕微鏡 
