装置紹介
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装置紹介
本研究室では、材料からデバイスの開発までの研究を遂行するため、結晶成長装置から、原子レベルでの結晶評価、電子/光物性の評価、および解析を行うための研究装置や設備を保有しています。
各装置はEIIRISやVBLに設置しており、学生が管理・保守を行っています。
結晶成長装置およびウエハ接合装置 †
- 分子線エピタキシー装置
- 有機金属気相成長装置
- 表面波プラズマ気相堆積装置
- 常温ウエハ接合装置
評価装置 †
- フォトルミネッセンス装置(可視、赤外)
- カソードルミネッセンス装置
- ホール効果測定装置
- 原子間力顕微鏡
- 走査型電子顕微鏡
- 高分解X線回折装置
- 反射高速電子線回折装置
- 分光エリプソメーター
- プローバーシステム
- 走査プローブ顕微鏡
- 導波路評価装置
- 超伝導マグネット
デバイス製造装置・加工装置 †
- 熱酸化炉
- 反応性イオンエッチング装置
- 電子ビーム蒸着装置
- 減圧化学気相堆積装置
- 高速熱処理装置
- 両面アライナ
- レーザダイサー
- 化学機械研磨装置
- 集束イオンビーム加工装置
- イオンミリング装置
評価装置群.jpg
成長置群.jpg
プロセス装置群.jpgLast-modified: 2019-05-17 (金) 15:25:42 (1665d)
