Paper 2005
- 石田 誠
シリコンテクノロジーによるインテリジェンントセンシングチップ -神経電位計測用微細電極アレイチップ-
表面技術, Vol.56, No.12, pp.85-90, 2005.12. - H. Khatun Mosammat, M. Shahjahan, R. Ito, K. Sawada, M.Ishida
Current-Voltage Characteristics of γ-Al2O3/epi-Si Resonant Tunneling Diodes with Different Quantum Well Thicknesses
Jpn. J. Appl. Phys., Vol.44, No.7A, pp.4795-4798, Jul., 2005.
doi : 10.1143/JJAP.44.4795 - 石田 誠
スマートマイクロセンサの研究開発
月刊「ケミカルエンジニヤリング」, Vol.50, No.7, pp.50-58, 2005.07. - D. Akai, M. Yokawa, K. Hirabayashi, K. Matsushita, K. Sawada, M. Ishida
Ferroelectric properties of sol-gel delivered epitaxial Pb(Zrx,Ti1-X)O3 thin films on Si using epitaxialγ-Al2O3 Layers
Appl. Phys. Lett., Vol.86, Issue 20, pp.202906(3pages), May, 2005.
doi : 10.1063/1.1929083 - K. Sawada, T.Ohshima, T. Hizawa, H. Takao, M. Ishida
A novel fused sensor for photo- and ion-sensing
Sens. Actuator B-Chem., Vol.106, Issue 2, pp.614-618, May, 2005.
doi : 10.1016/j.snb.2004.07.029 - D. Noda, M. Hatakeyama, M. Kyogoku, K. Ikusima, K. Sawada, M. Ishida
Fabrication of Si field emitter array in local vacuum package
J. Vac. Sci. Technol. B., Vol.23, Issue 2, pp.864-867, 2005. - Md. Shofiqul Islam, H. Ishino, T. Kawano, H. Takao, K. Sawada, M. Ishida
Realization of In Situ Doped n-Type and p-Type Si-Microprobe Array by Selective Vapor-Liquid-Solid (VLS) Growth Method
Jpn. J. Appl. Phys., Vol.44, No.4B, pp.2161-2165, Apr., 2005.
doi : 10.1143/JJAP.44.2161 - T. Okada, M. Shahjahan, K. Sawada, M. Ishida
Fabrication of Crystalline HfO2 High-k Dielectric Films Deposited on Crystalline γ-Al2O3 Films
Jpn. J. Appl. Phys., Vol.44, No.4B, pp.2320-2322, Apr., 2005.
doi : 10.1143/JJAP.44.2320 - H. Takao, K. Miyamura, H. Ebi, M. Ashiki, K. Sawada, M. Ishida
A MEMS microvalve with PDMS diaphragm and two-chamber configuration of thermo-pneumatic actuator for integrated blood test system on silicon
Sens. Actuator A-Phys., Vol.119, Issue 2, pp.468-475, Apr., 2005.
doi : 10.1016/j.sna.2004.10.023 - 石田 誠
COE紹介：インテリジェントヒューマンセンシング -豊橋技術科学大学21世紀COEプログラム-
知能と情報（日本知能情報ファジイ学会誌, Vol.17, No.2, pp.259-266, 2005. - K. I. Lee, M. M. Nayak, H. Takao, K. Sawada, M. Ishida, K. Rajanna
MEMES Based High Dose Radiation Resistant SOI Pressure Sensor for Aerospace Applications
Sens. Mater., Vol.17, No.5, pp.237-247, 2005. - Y. T. Lee, H. Takao, M. Ishida
Fabrication of a High Temperature Silicon Pressure Sensor Using SDB-SOI Technology
Sens. Mater., Vol.17, No.5, pp.269-276, 2005.